德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺工作原理

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺基礎(chǔ)信息：

直線光柵尺測量直線軸位置無需任何中間機械連接件。因此，可避免許多潛在誤差源，例如反向間隙、螺距誤差或循環(huán)滾珠絲杠發(fā)熱。只要位置精度嚴(yán)格和加工速度高，那么直線光柵尺。

LIC 4100系列

絕對式直線光柵尺

高精度和大測量長度

支持不同的安裝方式

鋼尺帶、玻璃陶瓷或玻璃基體的光柵

可帶功能安全特性

高速運動的直線軸

測量長度達(dá)28 m

超小測量步距版（<1 nm）

可提供高真空版

可提供功能安全特性

支持不同的安裝方式

接口：EnDat、發(fā)那科、三菱、松下和安川

德國海德漢heidenhain高精度直線光柵尺功能安全特性

該系列的部分編碼器可提供功能安全特性和機械連接防松保護功能。集成到系統(tǒng)中后，該解決方案可提供SIL 2級的安全性，最大限度減少故障和支持機床的安全工作。

應(yīng)用的多樣性

該系列產(chǎn)品應(yīng)用廣泛。LIC系列直線光柵尺亮點多，設(shè)計堅固，精度高，支持高速度和大測量長度。部分版本的光柵尺可在高安全性環(huán)境或高真空度應(yīng)用中使用。

高運動速度

LIC系列直線光柵尺不僅精度高，而且支持高速運動。測量步距僅1 nm和運動速度可高達(dá)600 m/min。絕對式位置測量，并且抗污性能優(yōu)異，可靠性高。

大測量長度

可選該系列直線光柵尺的不同版本，測量長度可達(dá)28米。這些光柵尺擁有高動態(tài)性能、高可靠性并在測量長度的全長上保持一致的高精度。

對污染不敏感

這系列光柵尺采用大掃描區(qū)設(shè)計，擁有優(yōu)異的抗污性能。測量基準(zhǔn)上的局部異物幾乎不影響信號質(zhì)量和測量可靠性。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺原理

光電式原理：通過光源發(fā)出光線，經(jīng)過聚光鏡后照射到標(biāo)尺光柵和指示光柵上。當(dāng)標(biāo)尺光柵與指示光柵相對移動時，會產(chǎn)生莫爾條紋，光敏元件將莫爾條紋的光強變化轉(zhuǎn)換為電信號，通過對電信號的處理和計數(shù)，就能精確測量出直線位移量。

電磁感應(yīng)式原理：利用電磁感應(yīng)現(xiàn)象，當(dāng)標(biāo)尺光柵與感應(yīng)頭相對移動時，在感應(yīng)頭的線圈中產(chǎn)生感應(yīng)電動勢，其大小和相位與位移量相關(guān)，經(jīng)過信號處理電路解算出位移信息。

電容式原理：由固定電極和可動電極組成，可動電極隨被測物體移動，固定電極和可動電極之間的電容值會隨著相對位移的變化而變化，通過測量電容值的變化來計算出直線位移。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺特點

高精度：能夠?qū)崿F(xiàn)微米級甚至納米級的測量精度，滿足各種高精度加工和測量需求。

高分辨率：可以精確地分辨出極小的位移變化，提供豐富的測量細(xì)節(jié)。

響應(yīng)速度快：能夠快速地跟蹤被測物體的移動，實時輸出測量數(shù)據(jù)，適用于高速運動的測量場合。

可靠性高：采用了先進的制造工藝和優(yōu)質(zhì)的材料，具有良好的穩(wěn)定性和抗干擾能力，能夠在惡劣的工作環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。

非接觸式測量：標(biāo)尺光柵和指示光柵之間沒有直接接觸，減少了磨損和摩擦，提高了使用壽命，同時也避免了因接觸而產(chǎn)生的測量誤差。

海德漢heidenhain高精度直線光柵尺應(yīng)用領(lǐng)域

機床加工領(lǐng)域：用于數(shù)控機床的位置反饋，精確控制工作臺、刀具等的移動位置，提高加工精度，保證零件的加工質(zhì)量。在磨床、銑床、車床等各類機床上都有廣泛應(yīng)用。

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：在光刻機、刻蝕機等半導(dǎo)體制造設(shè)備中，用于精確控制晶圓的定位和移動，確保芯片制造的高精度和一致性。

測量儀器領(lǐng)域：如三坐標(biāo)測量儀、工具顯微鏡等，用于精確測量物體的尺寸、形狀和位置，為質(zhì)量檢測和控制提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。

自動化生產(chǎn)線領(lǐng)域：用于自動化生產(chǎn)線中工件的定位和檢測，實現(xiàn)自動化生產(chǎn)過程的精確控制和質(zhì)量監(jiān)控，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。